タイトル(別表記) Periodical structure of vortices in a semiconductor single wafer spin cleaner
フルテキストURL TransJSME_81_829_2015.pdf
著者 河内 俊憲| 福田 修也| 中野 裕介| 清水 義也| 永田 靖典| 柳瀬 眞一郎|
キーワード Rotating disk Flow stability Large-scale structure PIV LES
発行日 2015
出版物タイトル 日本機械学会論文集
81巻
829号
出版者 日本機械学会
開始ページ 15-00273
ISSN 00290270
NCID AN00187419
資料タイプ 学術雑誌論文
言語 Japanese
OAI-PMH Set 岡山大学
著作権者 © 2015 The Japan Society of Mechanical Engineers
論文のバージョン author
DOI 10.1299/transjsme.15-00273
関連URL isVersionOf https://doi.org/10.1299/transjsme.15-00273